（1）项目名称：12英寸集成电路前沿互连工艺开发及国产设备、材料评估平台项目。

　　（2）项目地点：上海市浦东新区张江高科技园高斯路497号。

　　（3）项目所属行业：053－集成电路制造。

　　（4）项目内容：

　　上海集成电路研发有限公司根据国家关于加快集成电路产业发展的有关政策，由上海市**于2002年底支持组建成立，是面向全国集成电路企业、大学 及研究所开放的非盈利性公共研发机构，并按照现代企业制度实现企业化经营管理。 研发保持以发展与中国集成电路产业相适应的应用技术为主线，通过与产业界协调发展的方式获得持续发展能力。主要业务功能包括：（1）为行业提供技术来 源和知识产权保护；（2）作为先进工艺研发和验证的公共平台向制造企业开放；（3）面向应用产品开发特色工艺模块；（4）为微电子装备和原材料提供试验条 件；（5） 为高校和科研院所提供人才培养的实训基地。

　　本项目在研发已有的基础上，完成12英寸集成电路前沿互连工艺开发及国产设备验证评估平台建设，包括一个净化级别为1000～100级、面积约 2000平方米的洁净室及动力、工艺支持系统；12英寸工艺设备（含两台以上国产设备）及相关辅助、测量设备的位、安装、调试；超低介电材料、空气隙钢 互联、TSV3D钢互联等技术开发。